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三轴直驱定位平台

重复定位精度 ±0.3μm

速度稳定性 ±1‰@300mm/s

高动态响应特性

低静态抖动

快速整定

支持非标定制

|  产品详情

技术指标

 数据

有效行程

X轴:350mm   Y轴:350mm

最大速度

X轴:1000mm/s   Y轴:1000mm/s

速度稳定性

X轴:±1‰@300mm/s   Y轴:1‰@300mm/s  

最大加速度 

X轴:1G   Y轴:1G

重复定位精度

X轴:±0.3μm   Y轴:±0.3μm   θ轴:±1.5arcsec

绝对定位精度

X轴:±0.5μm   Y轴:±0.5μm   θ轴:±10arcsec

整定时间

X轴:50ms@±1μm/1G   Y轴:60ms@±1μm/1G

直线度

X轴:±2μm   Y轴:±2μm

行走平面度

X轴:±3μm   Y轴:±3μm

XY正交度 

±3μm

最大负载

10kg

光栅尺分辨率

0.1μm
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